离子减薄系统
发布时间：2018-03-24 作者： 来源： 浏览次数：
联系人 |
褚胜林 |
邮箱 |
chu_shenglin@126.com |
电话 |
13755005492 |
生产厂家 |
美国 Gatan公司 |
型号 |
Gatan691 |
购买日期 |
2006.12.26 |
主要规格及技术指标
1．离子枪束能量：1.5千伏～6千伏 2．束直径：350μm FWHM at 5kev 3．离子束电流密度：10mA 4．减薄速度：硅，每小时40μm，5kv 5．样品旋转：无极可变，每分钟1～6转 6．离子束调制：单一或双面横截面减薄 7．真空度：5E～6Torr基本压强，工作时8E～5Torr base 8．凹坑仪定位精度：小于10nm 9．减薄厚度控制：1μm
主要功能及特色
减薄速度：硅，每小时40μm，5kv