热等静压用高真空检漏系统
发布时间：2018-03-24 作者： 来源： 浏览次数：
联系人 |
刘彬 |
邮箱 |
binliu@csu.edu.cn |
电话 |
073188877669 |
生产厂家 |
上海尼迦半导体技术服务中心 |
型号 |
ASM142 |
购买日期 |
2009.07.01 |
主要规格及技术指标
对氦气的最小检测漏率：〈5.10E-12 mbar l/s 检测模式：真空模式和吸枪模式 检测气体：4He , 3He, H2 响应时间：< 3 min 对氦气的抽气速度：1.3 l/s 进气口最大压力：10 mbar
主要功能及特色
真空法（亦称负压法）：被测部件与检漏仪相连，在被测部件外部喷氦 Bombing法：被测部件充入一定压力的氦气，然后放置在容器中，容器与检漏仪相连 吸枪法（亦称正压法）：被测部件充入一定压力的氦气，然后用吸枪在外部检测