场发射扫描电子显微镜2
发布时间：2018-03-24 作者： 来源： 浏览次数：
联系人 |
黄再旺 |
邮箱 |
huangzaiwang@csu.edu.cn |
电话 |
18670380782 |
生产厂家 |
捷克FEI香港公司 |
型号 |
Quanta 650 FEG |
购买日期 |
2013.12.17 |
主要规格及技术指标
分辨率：1.0nm（二次电子），2.5nm（背散射电子）；加速电压：200V-30kV；最大束流200nA；样品室压力最高达4000Pa
主要功能及特色
可以获取样品微观表面形貌以及成分差异，二次电子(SE): 用于获取微观表面形貌像；背散射电子(BSE):用于获取微区成分差异